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중소기업 기술로드맵 조회결과

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ALD 전구체
* 발행 년도 : 2016년
1. 기술로드맵

ALD 전구체 기술로드맵

2. 개요
가. 정의 및 범위

- 정의 : ALD 전구체는 반도체 소재로 사용되는 유기금속화합물로 원자기상증착(ALD)에 사용되는 전구체이며, 기질 표면에서의 화학적 흡착과 탈착과정을 이용하여 단원자 층의 두께 제어가 가능한 새로운 개념의 증착 방법으로 낮은 온도에서 단결정으로 박막을 성장시키며, 원자 층 제어가 가능하다는 특장점을 보유한 제품

3. 시장현황 및 전망분석
가. 시장현황 및 전망
  • 전구체 소재 시장 규모는 2005년 2억 달러에도 미치지 못했지만 금속 배선 및 High-K 채용, Double/Quadruple Patterning 공정 확대 등으로 꾸준한 성장을 거듭 중
  • 2015년 23억 달러에서 연평균 20%의 높은 증가율을 보이며, 2020년에는 57.2억 달러로 성장 예상 전망
[ 반도체용 전구체 세계 시장규모 및 전망 ] (단위 : 억 달러, %)
제품 시장현황 및 전망
구분‘15‘16‘17‘18‘19‘20CAGR
('13~'15)
세계시장 23 27.7 33.2 39.8 47.7 57.2 20.0
[ 반도체용 전구체 국내 시장규모 및 전망 ] (단위 : 억 원, %)
제품 시장현황 및 전망
구분‘15‘16‘17‘18‘19‘20CAGR
('13~'15)
국내시장 6,200 7,440 8,928 10,713 12,855 15,427 20.0
4. 기술분석
가. 기술동향 분석

(1) 세계동향

  • ALD 전구체 기술의 지난 7년(‘10~’16) 간 출원동향2)을 살펴보면 ‘10년 이후로 증가추세를 보이다가 최근으로 갈수록 비교적 감소하고 있으나, 최근 출원건이 유지되고 있어 지속적으로 ALD 전구체 관련 기술개발 활발
    • 각 국가별로 살펴보면 미국, 한국, 일본이 비슷한 출원 경향을 보이는데, ‘13년도까지 점차로 증가 추세를 보이다가 그 이후 감소하는 경향을 보이고 있으며, 유럽은 소폭 증감 추세
  • 국가별 출원비중을 살펴보면 미국이 전체의 60.7%로 최대 출원국으로 ALD 전구체 기술을 리드하고 있는 것으로 나타났으며, 한국은 23.2%, 유럽 9.1%, 일본 7.0% 순으로 나타남
ALD 전구체 세계동향

(2) 국내동향

  • 국내 출원인 동향을 살펴보면 대기업은 에스에프에이의 출원건수가 가장 높게 나타났으며, 중소기업에서는 주식회사 유피케미칼의 출원건수가 높게 나타남
  • 기업 이외의 주요출원인을 살펴보면 한국화학연구원, 한국과학기술원, 한국기계연구원, 한국과학기술연구원, 한국에너지기술연구원 등이 활발한 연구개발을 하고 있으며, 대학의 경우에는 성균관대학교, 고려대학교, 영남대학교, 연세대학교, 서울대학교 등 다양한 대학교에서 연구개발을 하고 있는 것이 특징으로 분석됨
5. 핵심요소기술 선정
  • 확정된 요소기술을 대상으로 산․학․연 전문가로 구성된 핵심기술 선정위원회를 통하여 중소기업에 적합한 핵심기술 선정
  • 핵심기술 선정은 기술개발시급성(10), 기술개발파급성(10), 단기개발가능성(10), 중소기업 적합성 (10)을 고려하여 평가

[ ALD 전구체 분야 핵심기술 ]

핵심요소기술 선정
분류핵심기술개요
재료 금속 ALD용 전구체 소재 기술 금속배선 재료, barrier 재료 등의 전도성 소재를 선택적 증착, 즉 전도성 박막위에만 증착하기 위해 사용되는 전구체 소재
저온 Si 화합물 ALD용 전구체 소재 기술 저온(50℃이하)에서 Si 및 Si 산화물, Si 질화물 등 Si 화합물을 고성장 증착 가능한 전구체 소재
고온 Si 화합물 ALD용 전구체 소재 기술 고온(400~600℃)에서 고신뢰성 고품질 고성장 Si 화합물 증착 가능한 전구체 소재
유전체 ALD용 전구체 소재 기술 Si 화합물(산화물 & 질화물)을 제외한 고유전체 및 저유전체를 고성장 증착하기 위해 사용되는 전구체 소재
멀티컴파운드 전구체 소재 기술 한 전구체에 다양한 금속원소를 포함된 전구체 소재
전구체 평가 기술 증기압, 순도 등 합성된 전구체의 물성 평가 기술
공정 외부 대기 차단 air barrier 기술 장비의 신뢰성 및 안정성을 위하여 외부 대기와 반응기체의 분리 및 접촉을 차단하는 고도의 air barrier 기술
장치 샤워 헤드 제어 기술 기생 플라즈마 억제, 증착 속도 제어 등을 위한 샤워 헤드 제어 기술